Der smartWLI next ist ein universell einsetzbarer 3D Sensor für Nanostrukturen und MikroGeometrien mit motorisiertem Revolver für bis zu 4 Objektive. Damit kann dieser kompakte Sensor in Messautomaten eingesetzt werden, die im Messprozess einen Objektivwechsel ohne manuellen Eingriff erfordern.
Abb. 1: smartWLI next
Zeitgleich mit der Vorstellung des smartWLI next wurde die Scanning Software verbessert, so dass die max. Messgeschwindigkeit aller smartWLI Sensoren genau wie das Auflösungsvermögen in xyz nochmals gesteigert werden konnte:
Abb. 2: Oberfläche eines superpolierten Kristallspiegels
Während selbst auf superpolierten Oberflächen wie dem Kristallspiegel kleinste Oberflächenstrukturen bewertet werden können, ist es andererseits ebenfalls möglich, große Areale trotz gesteigerter Auflösung vielfach schneller als bisher zu messen. Dazu wird die Oberfläche in einem ersten Schritt mit einer Scan-Geschwindigkeit über 1 mm/s analysiert und der notwendige Messbereich für die hochauflösende Messung eingeschränkt. So können auch bei hoher Positionstoleranz und geneigten Oberflächen mit mehreren 100 µm Höhenunterschied Einzelmessungen in 1 – 2 s durchgeführt und größere Areale mit mehreren 100 Einzelmessungen in wenigen Minuten erfasst werden.
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